非晶硅薄膜太阳能电池生产技术和成套设备

公司提供技术成熟的成套非晶硅薄膜光伏电池的生产线，用于生产大型玻璃光电模板。其中非晶硅光电模板的生产工序，是经过验证非常成功的非晶硅高产量沉积技术，其核心是采用单室多片大面积PECVD沉积技术，一次完成多片数十平方米的双节非晶硅薄膜的沉积，在相对低的设备投资下取得很高的大块模片的产量，最小成套规模为每单元5MW。我公司成功研制生产的非晶硅薄膜太阳能生产技术和成套设备，改变了以往我国这类产品只能依靠进口的现状。

               ZZSX-800ZA全自动光学镀膜机

    该设备不仅注重材料的选择，而且通过对真空室所有加强筋及结构的重新计算和合理分布，避免了真空室的微量变形对镀膜精度的影响；整个旋转机构的驱动由一个磁流体密封轴引入，悬臂吊装式的工件架固定在旋转机构上，不仅降低了劳动强度，增强了安全性，更减少了对真空室的污染，提高了生产效率；晶体探头及多工位比较片换位一体化，提高了比较片的控制精度，结构紧凑，占据空间小，结构合理；可倒式补偿挡板机构，拆卸、清洗都很方便；便于拆卸清洗的多组真空室屏蔽板结构。

               FF系列复合分子泵

    复合分子泵由涡轮抽气级和螺旋槽牵引压缩级组合而成，具有大抽速高压缩比的特点。该泵具有牢固牢靠的一体型转子，启动快、低振动、低噪音、低功耗，与被抽系统垂直安装，可获得无油的超高真空。

                 ZDF-5202Ⅰ/Ⅱ型复合真空计

    本仪器采用ZJ-52T电阻规和ZJ-2电离规管，应用单片机系统完成真空度的测量，并可根据用户要求加装RS232/RS485串行通讯口、上下限设定继电器控制输出、模拟标准信号输出。适用于实验室及生产车间使用。